一种碳化硅籽晶的粘接方法及应用
摘要:
本发明提供了一种碳化硅籽晶的粘接方法及应用,所述粘接方法包括如下步骤:采用胶水将碳化硅籽晶粘接在石墨托上,然后进行碳化,得到包括C粘接层的石墨托;其中,所述胶水中包括含硅粉末;将所述包括C粘接层的石墨托依次进行升温和保温,然后经过冷却后,完成碳化硅籽晶的粘接;所述粘接方法利用Si元素易蒸发、SiC在过饱和状态下析出以及SiC晶体升华量小的特点,大幅加强了碳化硅籽晶的粘接强度,有效防止了溶液法生长大尺寸SiC晶体,且在使用加减速旋转条件时,SiC籽晶和晶体掉落的情况。
公开/授权文献
0/0