本发明提供一种用于吸附剂泵性能测试的真空装置及方法，包括：真空抽气系统、真空供气系统、真空测量系统、辅助加热系统。真空抽气系统中的主真空室抽气机组由涡轮分子泵与前级泵构成；真空供气系统由小型储气罐与标准储气瓶通过真空管道与主真空室连接，用于实验过程中供气；真空测量系统由各类型规管及残余气体分析仪构成，能够测量出真空室与储气罐气体压力，分析与检测主真空室残余气体成分与状态，实时测量充气速率；辅助加热系统由电源及其控制系统构成，维持吸附剂泵工作所需温度，加热坩埚进行涂层处理及初始阶段进行壁处理。采用本发明，真空抽气机组能够快速抽真空至10‑6Pa量级，用于吸附剂泵抽速性能研究，并研究涂层处理对吸附剂泵性能的影响。