发明公开
摘要：
本发明公开一种压电MEMS扬声器及其制备方法，包括，振动发声结构，其中所述振动发声结构中设置有镂空狭缝结构，所述镂空狭缝结构末端对应设置有储液池，所述储液池与所述镂空狭缝相连通，所述镂空狭缝中填充有液态材料用于密封。通过上述技术方案，本发明对压电MEMS扬声器结构中的镂空狭缝进行密封，提高声音输出性能的设计方法，旨在解决压电MEMS扬声器在工作时镂空狭缝中存在空气泄漏，导致低频处声压级较低的问题。
