本发明涉及一种高精密金属掩模板用因瓦合金极薄带生产工艺，以因瓦合金带材为原料，经过扩散退火、第一阶段异步冷轧、切边、第二阶段异步冷轧、切边、第三阶段异步冷轧和矫直、切边、清洗、去应力低温退火、切条入库等工序，生产出适合高精密金属掩模板用的优质因瓦合金极薄带材；对原料进行扩散退火，对原料进行组织均匀化和去夹杂物，利于后续加工；使用凸度辊和分阶段轧制、退火、切边，可以有效控制极薄带材的力学性能和板形质量；使用异步轧制因瓦合金极薄带可以提高生产效率、降低轧制力，减少能源消耗，突破国外对我国高精密金属掩模板用因瓦合金极薄带的的技术封锁。