一种超纯水供应装置可以包括：活性炭过滤设备；离子交换树脂设备，连接到活性炭过滤设备；反渗透膜设备，连接到离子交换树脂设备；中空纤维膜设备，连接到反渗透膜设备；第一流体驱动部，在反渗透膜设备和中空纤维膜设备之间；以及控制单元，被配置为控制第一流体驱动部。第一流体驱动部可以包括：第一泵、第二泵和第三泵，与反渗透膜设备并行连接；以及压力传感器，位于第一泵和中空纤维膜设备之间。控制单元可以被配置为基于从压力传感器发送的信号来控制第一泵、第二泵和第三泵中的每一个泵。