过滤膜的清洗装置包括：循环流路(25)，其将清洗液贮存槽(27)的流出口(40)和流入口(41)连接；和供给流路(4)，其将循环的清洗液(28)向过滤膜(3)供给。而且，使清洗液(28)的流速在循环流路(25)中比供给流路(4)快。由此，能够抑制将清洗液(28)从清洗液贮存槽(27)向过滤膜(3)供给期间的清洗液(28)中的药剂浓度的下降，因此能够维持清洗液(28)的药剂浓度。另外，由于供给流速比循环流速慢，因此能够减少清洗液(28)的使用量。