发明公开
CN116723626A 离子注入器
审中-公开
- 专利标题： 离子注入器
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申请号： CN202310629905.4申请日： 2023-05-30
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公开(公告)号： CN116723626A公开(公告)日： 2023-09-08
- 发明人: 方文程 , 郭玉森 , 陆羿行 , 赵振堂
- 申请人： 中国科学院上海高等研究院
- 申请人地址： 上海市浦东新区海科路99号
- 专利权人： 中国科学院上海高等研究院
- 当前专利权人： 中国科学院上海高等研究院
- 当前专利权人地址： 上海市浦东新区海科路99号
- 代理机构： 上海智信专利代理有限公司
- 代理商 邓琪; 熊俊杰
- 主分类号： H05H9/00
- IPC分类号： H05H9/00 ; H05H7/02 ; H05H7/04
摘要：
本发明涉及一种离子注入器，包括至少一个离子源以及沿束流传输方向依次设置的射频四极加速器和交叉指磁型漂移管直线加速器，所述离子源和所述射频四极加速器之间设置有低能传输线，所述射频四极加速器和交叉指磁型漂移管直线加速器之间设置有匹配段，所述交叉指磁型漂移管直线加速器包括四个腔体，任意相邻的两个腔体之间均设置有聚焦段。本发明的离子注入器采用更高的工作频率，通过优化的束流动力学设计和结构设计，实现了离子注入器的小型化和高效率。
