发明授权
- 专利标题: 一种芯片检测用的自主清洁式光学显微镜
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申请号: CN202310653325.9申请日: 2023-06-05
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公开(公告)号: CN116736507B公开(公告)日: 2024-02-09
- 发明人: 庄伟东
- 申请人: 南京银茂微电子制造有限公司
- 申请人地址: 江苏省南京市溧水区秀山路9号
- 专利权人: 南京银茂微电子制造有限公司
- 当前专利权人: 南京银茂微电子制造有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市溧水区秀山路9号
- 代理机构: 北京汇捷知识产权代理事务所
- 代理商 崔建章
- 主分类号: G02B21/00
- IPC分类号: G02B21/00 ; G02B27/00 ; B08B1/12 ; B08B1/36 ; B08B5/02 ; G01N21/15 ; G01N21/01 ; G01N21/84 ; G01N21/95
摘要:
本发明涉及光学显微镜技术领域,具体为一种芯片检测用的自主清洁式光学显微镜,包括光学显微镜主体、物镜延管、圆柱列腔、总汇环槽、微型气泵、平面保护镜片和分体延管罩,所述光学显微镜主体的下端连接固定有物镜延管,所述物镜延管的内部开设有圆柱列腔和总汇环槽,所述圆柱列腔竖直设置,所述圆柱列腔的下端向下贯穿;本发明自主清洁式光学显微镜,能够在将分体延管罩扣合后,驱动分体延管罩自主上升到位,并同时对平面保护镜片进行自主清洁,清除平面保护镜片下表面由于电路板芯片检测和焊接时松香或焊锡产生的烟尘附着,在每次显微镜使用完毕后,均能够自动维持平面保护镜片的清洁,保证下次使用时的视觉清晰效果。
公开/授权文献
- CN116736507A 一种芯片检测用的自主清洁式光学显微镜 公开/授权日:2023-09-12