具有放大结构的高灵敏度谐振压力传感器及信号调理方法
摘要:
本发明提供了具有放大结构的高灵敏度谐振压力传感器及信号调理方法,涉及谐振压力传感器技术领域,其目的是实现可靠性和稳定性更高且具备更高的灵敏度和分辨率的压力传感器,包括压力敏感薄膜、谐振检测结构和两个单级放大结构;谐振检测结构设置有谐振梁;谐振检测结构的谐振梁的两端分别设置一个所述单级放大结构;压力敏感薄膜用于感知外界压力并产生形变;单级放大结构上设置有与所述压力敏感薄膜的相连的多个锚点,单级放大结构用于放大并传递所述形变;谐振检测结构用于接收所述单级放大结构传递的形变,通过谐波感应所述外界压力。本发明的压力传感器具有灵敏度和分辨率更高且降低噪声的优点。
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