本发明公开了一种可重构SAW谐振器结构及制备方法，涉及新一代信息技术，针对现有技术中厚度高、载流子浓度低、直流偏置电压高以及漏电流大的问题提出本方案。SAW谐振器结构主要包括ε相氧化镓压电薄膜上端部通过注入负离子得到的导电层；在导电层上设置介电层和成对的叉指电极；一叉指电极分别连接直流偏置电压和RF信号，另一叉指电极接地。方法主要是对ε相氧化镓压电薄膜表面注入负离子，使ε相氧化镓压电薄膜上端部形成导电层。其优点在于，载流子浓度提高之余还不用被厚度限制，设计和制作会更加灵活和简单。高浓度的二维电子气对直流偏置电压的变化更加灵敏，只需较低的电压即可调节。引入绝缘的介电层后不存在漏电流，避免发热量大的问题。