基板缺陷检查装置包括：光源，产生在第一方向上行进的光；狭缝，在第一方向上与光源隔开配置，并形成有光能够通过的开口；以及传感器，能够检测穿过狭缝的光透过在第一方向上与狭缝隔开配置的被检查体而形成的散射光，并在第一方向上与被检查体隔开配置，光具有由下面式1定义的散度(divergence)A，[式1]散度A＝D/HD为开口的在垂直于第一方向的第二方向上的宽度，H为狭缝与被检查体在第一方向上隔开的距离，传感器以从光源的中心在第一方向上延伸的虚拟线为基准在第二方向上与虚拟线隔开。