提供了超纯水供应设备、基板处理系统和基板处理方法。超纯水供应设备包括：第一供应装置，生产第一超纯水；第二供应装置，生产第二超纯水；第一备用供应装置，向所述第二供应装置提供所述第一供应装置中的流体的一部分；以及第二备用供应装置，向所述第一供应装置提供所述第二供应装置中的流体的一部分。所述第一供应装置包括第一前侧过滤部件、第一后侧过滤部件和第一连接部件。所述第二供应装置包括第二前侧过滤部件、第二后侧过滤部件和第二连接部件。所述第一备用供应装置和所述第二备用供应装置中的每一者将所述第一连接部件和所述第二连接部件彼此连接。