本发明公开了制氧机用带有过滤系统的内进气循环无油真空压缩机，包括支撑腔体，所述支撑腔体的上端安装正压端进气压缩组件，支撑腔体的左右两侧对称安装真空端换气压缩组件，支撑腔体的后侧安装电机，支撑腔体的前侧安装气路汇集分配引导室、进气过滤结构；所述气路汇集分配引导室一端连接于支撑腔体上、另一端与进气过滤结构连接，所述气路汇集分配引导室还分别与支撑腔体左右两侧的真空端换气压缩组件相连，位于支撑腔体内的电机的动力输出轴端部上设置平衡配重导流轮，所述平衡配重导流轮与气路汇集分配引导室通过轴承连接。本发明能够提供给制氧机需求的洁净气源，解决了在高原地区或矿道供应氧中因灰尘、沙尘造成的制氧机低寿命易坏等问题。