氮化硅陶瓷基片连续烧结装置及方法
摘要:
本发明提供了一种氮化硅陶瓷基片连续烧结装置及方法,属于陶瓷烧结设备技术领域。装置包括炉体、滑道、多个底托滚子、多个耐热载体、供气机构和导热机构。方法步骤排气预热、装料、推进、连续生产和取料等步骤。本发明能够使得炉膛内形成还原气体环境,并可调节炉膛内的压力,以适合多种烧结工艺的使用;同时炉膛内可以形成不同的温度区;并通过密封的进料段和出料段方便在进料和取料时不影响炉膛内的气体环境和压力;且耐热载体在滑槽内顺畅滑动,并经过不同的温度区,连续实现预热氮化、烧结和散热的步骤,实现连续生产,提高生产效率;能量可以循环利用,便于节能,且整个炉体可以长期保持在稳定的温度,有利于保证整个烧结装置的使用寿命。
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