本申请公开了一种开关柜绝缘微部件缺陷评估方法、装置及试验系统，方法包括：采集多组目标绝缘微部件在预设工频电压和预设操作过电压的共同作用下的综合对地电压测量值，预设工频电压包括第一预置幅值，预设操作过电压包括第二预置幅值；基于综合对地电压测量值，采用启发式搜索算法对初始理论计算模型进行优化，得到理论计算优化模型；根据综合对地电压理论值和第一预置幅值计算目标绝缘微部件的缺陷程度评估因子，综合对地电压理论值根据理论计算优化模型得到；根据缺陷程度评估因子对目标绝缘微部件的缺陷程度进行评估，得到缺陷程度评估结果。本申请能解决绝缘微部件缺陷易发生局放，容易导致绝缘劣化，但缺少相关缺陷评估方案的技术问题。