发明授权
- 专利标题: 激光诱导薄层浆料的栅线直接成形方法
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申请号: CN202310815047.2申请日: 2023-07-05
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公开(公告)号: CN116872635B公开(公告)日: 2024-01-26
- 发明人: 李少霞 , 张艳梅 , 虞钢 , 田崇鑫 , 何秀丽
- 申请人: 广东空天科技研究院(南沙) , 中国科学院力学研究所
- 申请人地址: 广东省广州市南沙区海滨路1119号1号楼501房
- 专利权人: 广东空天科技研究院(南沙),中国科学院力学研究所
- 当前专利权人: 广东空天科技研究院(南沙),中国科学院力学研究所
- 当前专利权人地址: 广东省广州市南沙区海滨路1119号1号楼501房
- 代理机构: 北京科迪生专利代理有限责任公司
- 代理商 江亚平
- 主分类号: B41M1/26
- IPC分类号: B41M1/26 ; B41M5/26 ; H01L31/0224
摘要:
本发明公开了一种激光诱导薄层浆料的栅线直接成形方法,包括首先制备出25微米以下的均匀导电浆料薄膜层;控制间隙与薄膜厚度比值小于或等于2;利用扩束准直镜和远心场镜将激光光斑直径调节至略小于或接近薄层浆料厚度,并聚焦在浆料薄膜表面;通过高性能高速振镜,匹配高重复频率、高速度实现高搭接率激光光束的扫描;自动分离透明基体和已印刷硅片,对已印刷硅片完成烘干烧结,直接成形出线宽小于30微米、高宽比大于0.4的连续栅线。本发明能够成形出小线宽、大高宽比的栅线,同时降低成本提高效率。
公开/授权文献
- CN116872635A 激光诱导薄层浆料的栅线直接成形方法 公开/授权日:2023-10-13