本发明涉及计算模拟领域，特别是涉及一种C5F10O分解组分吸附剂的评价方法及装置，通过基于GCMC仿真构建待评价固相吸附剂对应的吸附剂晶胞模型；基于GCMC仿真对C5F10O分解后的气相产物构建吸附质分子模型；利用所述吸附剂晶胞模型，及吸附质分子模型进行GCMC仿真，得到仿真结果文件；根据所述仿真结果文件，确定所述待评价固相吸附剂的评价信息。本发明建立了吸附剂对应的吸附剂晶胞模型及吸附质对应的吸附质分子模型，做出定量的性能预测，可实现对每个C5F10O气体分解组分进行分析，对不同吸附剂材料进行定量性能预测，对各种吸附剂的吸附效果做出定量评价。