一种一步法生产高纯六硼化硅的工艺，以二氧化硅、硼酐、碳化硼和石墨粉为原料粉，加入粘合剂和镁粉，在真空球磨机中，混料，用400t油压机压成圆柱形块体；将圆柱形块体装入真空电阻烧结炉的石墨坩埚中，抽真空至0‑5Pa，开始升温，升温功率为130kw/h，温度升至1200℃，开始反应，继续抽真空，真空度降至3Pa‑5Pa后，继续保温2小时，停电随炉降温，得到高纯六硼化硅。优点是：以二氧化硅、硼酐、碳化硼、石墨粉为原料，原材料成本低，摆脱了用单质合成的高成本生产工艺，将原料经压块后真空烧制，一步完成，工艺条件简单、可控，生产成本低，获得的六硼化硅产品纯度高，适合工业化生产。