本申请涉及图像数据处理技术领域，特别是涉及一种基于图像特征的硅片质量评估方法，包括：获取硅片的第一图像，对第一图像进行预处理得到第二图像，之后对第二图像进行边缘检测处理和边缘追踪处理，得到硅片的ROI区域，计算得到ROI区域中每个像素点对应的局部光照变化指标、形变灰度影响以及纹理随机性指标，构建边缘形变映射，通过边缘形变映射对采用显著性检测得到的每个像素点的显著值进行改进，调整显著值捕捉形变特征，然后通过阈值筛选得到形变区域的边缘，使用边缘连接算法将不连续的边缘段连接成完整的闭合边缘。最终，根据形变类型和分布，生成硅片质量评估报告，为硅片质量评估提供了定量依据。