提供一种氧化锗处理系统，氧化锗处理系统包括焙烧炉、渣质罐以及收集模块。焙烧炉用于：将氧化锗料在流通式真空的无氧环境下进行加热烘干并向收集模块排放水蒸气，以及氧化锗料在通入氮气的流通式真空的无氧环境下在氧化锗不升华的温度下加热焙烧，以并向收集模块排放水蒸气和氮气以及向渣质罐排放渣质气体以及氮气。渣质罐用于：接收渣质气体和氮气，使冷凝形成粘稠液体且使氮气排放给收集模块。收集模块用于：与焙烧炉形成流通式真空，接收加热烘干水蒸气冷凝并收集，接收加热焙烧的水蒸气和氮气冷凝并收集，接收加热焙的时经由渣质罐排出的氮气并使氮气冷却。