发明公开
CN116970932A 化学镀夹具
审中-公开
- 专利标题: 化学镀夹具
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申请号: CN202311030039.3申请日: 2023-08-14
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公开(公告)号: CN116970932A公开(公告)日: 2023-10-31
- 发明人: 赵斯楠 , 汤宝 , 姜勋财
- 申请人: 武汉光迅科技股份有限公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区流苏南路1号(自贸区武汉片区)
- 专利权人: 武汉光迅科技股份有限公司
- 当前专利权人: 武汉光迅科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区流苏南路1号(自贸区武汉片区)
- 代理机构: 北京派特恩知识产权代理有限公司
- 代理商 徐雯; 徐川
- 主分类号: C23C18/16
- IPC分类号: C23C18/16
摘要:
本发明实施例提供了一种化学镀夹具,半导体技术领域,适用于不规则尺寸和形状的芯片的化学镀工艺。化学镀夹具包括第一固定环、第二固定环、支撑柱和多组伸缩杆组件。第二固定环间隔设置于第一固定环的一侧,且第一固定环的中轴线与第二固定环的中轴线重合。支撑柱一端与第一固定环连接,另一端与第二固定环连接;支撑柱的延伸方向平行于第一固定环的中轴线。多组伸缩杆组件间隔设置于支撑柱上;一组伸缩杆组件用于夹持一个芯片;一组中的伸缩杆组件一端与支撑柱连接,另一端沿远离支撑柱的方向伸缩并夹持芯片的不同位置。
IPC分类: