发明公开
- 专利标题： 一种基于微米柱的透射电镜样品的制备方法
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申请号： CN202310769588.6申请日： 2023-06-28
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公开(公告)号： CN116973186A公开(公告)日： 2023-10-31
- 发明人: 张蕾 , 柯培玲 , 陈国新 , 袁江淮 , 崔俊峰 , 段北晨 , 卢焕明
- 申请人： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
- 申请人地址： 浙江省宁波市镇海区中官西路1219号
- 专利权人： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
- 当前专利权人： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
- 当前专利权人地址： 浙江省宁波市镇海区中官西路1219号
- 代理机构： 宁波甬致专利代理有限公司
- 代理商 钱莹
- 主分类号： G01N1/28
- IPC分类号： G01N1/28 ; G01N23/20008
摘要：
本发明公开了一种基于微米柱的透射电镜样品的制备方法，与现有技术相比，本发明利用沉积不同方向的保护层，对微米柱样品的上面及侧面进行有效保护，再利用聚焦离子束系统对微米柱及周边区域进行切割、转移、焊接、减薄，最终得到平整、均匀的高质量透射电镜样品。
