本发明涉及图像局部增强技术领域，具体涉及一种扫描电子显微镜图像优化增强方法。方法包括：获取扫描电子显微镜采集到的集成电路半导体器件的灰度图像及对应的灰度直方图；根据灰度直方图中每两个相邻灰度级对应的频率的差异确定第一阈值；根据每个非特征方向上像素点的灰度值获得对应的拟合曲线；根据拟合曲线上峰值点的分布情况得到对应的参考灰度值；基于特征灰度值和参考灰度值确定第二阈值，进而确定目标像素点和背景像素点；对目标像素点的灰度值进行增强处理，对背景像素点的灰度值进行削弱处理，获得处理后的集成电路半导体器件图像。本发明提高了扫描电子显微镜图像的优化(56)对比文件Shuiquan Pang et al..Edgedetermination improvement of scanningelectron microscope images by inpaintingand anisotropic diffusion for measurementand analysis of microstructures.《Measurement》.2021,第176卷第1-11页.Kai Zhao et al..Deep Hough Transformfor Semantic Line Detection《.IEEETransactions on Pattern Analysis andMachine Intelligence》.2021,第44卷(第9期),第4793-4806页.梁忠伟等.基于灰度直方图拟合曲线的数字图像多阈值分割技术研究《.现代制造工程》.2007,(第09期),第103-106页.