发明授权
- 专利标题： 多分辨率叠加计量目标
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申请号： CN202180094683.X申请日： 2021-08-10
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公开(公告)号： CN116997863B公开(公告)日： 2024-05-24
- 发明人: E·哈贾 , A·玛纳森 , S·艾森巴赫 , A·戈洛塔斯万 , Y·格劳尔 , E·马斯洛夫斯基
- 申请人： 科磊股份有限公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 科磊股份有限公司
- 当前专利权人： 科磊股份有限公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- 代理商 刘丽楠
- 国际申请： PCT/US2021/045292 2021.08.10
- 国际公布： WO2022/225544 EN 2022.10.27
- 进入国家日期： 2023-08-25
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; H01L21/66
摘要：
一种产品，其包含：至少一个半导体衬底；多个薄膜层，其安置于所述至少一个衬底上；及叠加目标，其形成于所述薄膜层中的至少一者中。所述叠加目标包含：第一子目标，其具有第一对称中心且包含具有第一线宽的第一目标特征；及第二子目标，其具有与所述第一对称中心重合的第二对称中心且包含第二目标特征，所述第二目标特征具有大于所述第一线宽的第二线宽，且与所述第一目标特征邻近但不重叠。
公开/授权文献
- CN116997863A 多分辨率叠加计量目标 公开/授权日：2023-11-03
IPC分类:
