本发明公开了一种石英玻璃元件模压成型方法及模压成型设备，方法在模压成型设备中执行，包括：通过装载组件将模具和石英玻璃预形体装载至装载腔室；第一驱动组件带动模具和石英玻璃预形体移动至成型腔室；通过加热组件对成型腔室内的模具和石英玻璃预形体进行加热；通过压型组件基于模具对加热后的石英玻璃预形体进行模压成型，并在模压成型过程中通过超声振动装置提供超声振动，以得到石英玻璃元件；通过第二驱动组件带动模具和石英玻璃元件移动至冷却腔室；通过冷却组件对冷却腔室内的模具和石英玻璃元件进行冷却，以便对冷却后的模具和石英玻璃元件进行卸载。根据本发明的技术方案，优化了石英玻璃预形体的变形过程，生产效率高，产品精度高。