一种激光解胶针刺气动芯片巨量转移机构
摘要:
本发明公开了一种激光解胶针刺气动芯片巨量转移机构,涉及半导体光电技术领域,包括上平台移动系统、转移平台系统、下平台移动系统,转移平台系统设置于上平台移动系统上,转移平台系统包括转移滑台、垂直动力模组、针刺夹持支架、激光辅助针刺组件、相机组件、激光器支架和激光发生器,激光辅助针刺组件包括激光部、气动部和微孔针头,激光部开设激光视窗,气动部开设进气孔,微孔针头对准下平台移动系统顶部的蓝膜组件。本发明采用上述结构的一种激光解胶针刺气动芯片巨量转移机构,利用激光发生器大幅度改变小范围蓝膜膜材性能,吹气产生形态良好的气泡,驱动芯片从蓝膜剥落至目标基板,实现高效率和柔性接触的Mini/Micro LED芯片巨量转移。
公开/授权文献
0/0