本发明属于气体除杂技术领域，本发明公开了一种CO深度除杂方法，包括如下步骤：将CO混合气顺次进行一级常温吸附、低温吸附、二级常温吸附和纯化，得到深度除杂后的气体，本发明所述除杂方法，除杂过程中无化学反应，无任何副产物产生，有利于实现深度除杂以及N2与CO的分离，深度除杂后的CO体积分数能够达到99.999％以上，能够达到对电子气的要求；本发明所述深度除杂方法适用于不同生产工艺所生产的CO，使用范围广泛；且本发明所述除杂装置采取一用一备的方式，可实现CO的连续生产。