本发明涉及环氧乙烷灭菌技术领域，提供了灭菌器用环氧乙烷尾气处理装置及处理方法，包括：反应罐，所述反应罐通过尾气管路与灭菌器连通以接收环氧乙烷尾气，为环氧乙烷尾气和水反应提供反应环境以及对反应后的混合液体提供临时存储空间；进水源，所述进水源与所述反应罐通过进水管路连接并在进水管路上设置进水阀；喷淋组件，所述喷淋组件分别与所述反应罐的顶部和所述进水源均连通，用于朝向所述反应罐底部喷淋水；回收组件，所述回收组件与所述反应罐连通，以将所述反应罐内的混合液体回收；PH值调节组件，所述PH值调节组件通过所述进水管路与所述反应罐连通；气压调节组件，所述气压调节组件通过气压管路与所述反应罐连通。