一种钙钛矿电池电荷传输层及钙钛矿电池的制备方法
摘要:
本发明涉及光伏电池领域,尤其涉及一种钙钛矿电池电荷传输层及钙钛矿电池的制备方法,所述钙钛矿电池电荷传输层的制备方法,包括在锡源和/或氧源通入结束后,向原子层沉积反应仓内部通入温度为T2的第一吹扫气从而对原子层沉积反应仓进行热清洗,并使得二氧化锡膜热重排的步骤;以及在热清洗结束后向原子层沉积反应仓内部通入温度T3的第二吹扫气,从而对原子层沉积反应仓进行冷清洗的步骤,从而有效去除残留的未反应前驱体以及反应后的副产物,提升了电荷传输层的沉积效果,另一方面还能够促进二氧化锡的排列,从而修补晶格缺陷使得二氧化锡电荷传输层的结晶度能够有效提升,进而使得钙钛矿电池的效率能够得到有效提升。
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