本发明提出了一种基于MIM波导内嵌多层矩形腔等离子体带通滤波器，所述带通滤波器主要由金属薄膜、矩形波导和多层矩形谐振腔组成，矩形波导和多层矩形谐振腔通过刻蚀方式贯通在金属薄膜上；所述矩形波导包括入射波导和出射波导，入射波导的前端延伸至金属薄膜的边缘处形成光的入射端口，出射波导的后端延伸至金属薄膜的尾部形成光的出射端口；所述多层矩形谐振腔包括矩形谐振腔外层、矩形谐振腔中间层和矩形谐振腔内层；矩形谐振腔外层分别与入射波导的后端和出射波导的前端相连通。本发明提出的带通滤波器，具有结构简单、带宽大、透射率高的特点；同时，通过适当调整结构参数，改变多层谐振腔的材料，即可实现滤波器频带的变化。