一种适用于多规格AMB基板同时烧结的夹具装置
摘要:
本发明涉及一种适用于多规格AMB基板同时烧结的夹具装置,其包括安装底板,用于作为基板承载机构,所述安装底板内设有至少一个底板凹槽;AMB基板,用于对芯片提供支撑、散热以及保护,每个底板凹槽内均安设有一块所述AMB基板;金属罩,用于保护AMB基板边缘,所述金属罩覆盖于安装底板上层,且所述金属罩正对每个底板凹槽位置分别设有金属罩窗口;薄膜,用于封闭底板凹槽内的AMB基板及芯片,所述薄膜覆盖于金属罩上层;锁紧环,用于夹紧并固定薄膜,所述锁紧环位于薄膜上层,且所述锁紧环紧贴薄膜边缘,所述锁紧环通过紧固件将薄膜与金属罩压至安装底板;该装置实现多规格AMB基板同时烧结,提高了夹具通用性,提高烧结效率。
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