- 专利标题: 一种适用于多规格AMB基板同时烧结的夹具装置
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申请号: CN202311362406.X申请日: 2023-10-20
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公开(公告)号: CN117096094B公开(公告)日: 2024-01-05
- 发明人: 李浩 , 李超 , 赵波 , 郑超 , 金锐 , 崔翔 , 赵志斌 , 李学宝 , 李文源 , 梁玉 , 周扬 , 王磊 , 马小杰
- 申请人: 北京智慧能源研究院 , 国网北京市电力公司
- 申请人地址: 北京市昌平区未来科技城滨河大道18号
- 专利权人: 北京智慧能源研究院,国网北京市电力公司
- 当前专利权人: 北京智慧能源研究院,国网北京市电力公司
- 当前专利权人地址: 北京市昌平区未来科技城滨河大道18号
- 代理机构: 北京君有知识产权代理事务所
- 代理商 焦丽雅
- 主分类号: H01L21/687
- IPC分类号: H01L21/687 ; H01L21/67
摘要:
本发明涉及一种适用于多规格AMB基板同时烧结的夹具装置,其包括安装底板,用于作为基板承载机构,所述安装底板内设有至少一个底板凹槽;AMB基板,用于对芯片提供支撑、散热以及保护,每个底板凹槽内均安设有一块所述AMB基板;金属罩,用于保护AMB基板边缘,所述金属罩覆盖于安装底板上层,且所述金属罩正对每个底板凹槽位置分别设有金属罩窗口;薄膜,用于封闭底板凹槽内的AMB基板及芯片,所述薄膜覆盖于金属罩上层;锁紧环,用于夹紧并固定薄膜,所述锁紧环位于薄膜上层,且所述锁紧环紧贴薄膜边缘,所述锁紧环通过紧固件将薄膜与金属罩压至安装底板;该装置实现多规格AMB基板同时烧结,提高了夹具通用性,提高烧结效率。
公开/授权文献
- CN117096094A 一种适用于多规格AMB基板同时烧结的夹具装置 公开/授权日:2023-11-21
IPC分类: