本发明公开了一种金刚石磨粒修平表面的微纳结构成型控制方法，涉及金刚石刀具修平表面的加工领域，所述方法包括以下步骤：确立待加工的金刚石磨粒修平表面的晶面类型；确立待加工金刚石磨粒修平表面的微纳拓扑结构的尺度需求，包括深宽比和深度；根据深宽比需求选取合适的环境温度；根据深度需求选取合适的热处理时间；对过渡金属触媒的金刚石修平表面进行热化学刻蚀加工，热处理加工条件为上述环境温度、热处理时间，空冷。本发明提供的一种金刚石磨粒修平表面微纳结构成型的控制方法，具有金刚石刀具表面功能化应用于过渡金属加工的前景。