发明公开
- 专利标题: 芯片封装结构及芯片封装方法
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申请号: CN202280000533.2申请日: 2022-03-25
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公开(公告)号: CN117136093A公开(公告)日: 2023-11-28
- 发明人: 马相国 , 刘祝凯 , 丁丁 , 邓林
- 申请人: 京东方科技集团股份有限公司 , 北京京东方技术开发有限公司
- 申请人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,北京京东方技术开发有限公司
- 当前专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,北京京东方技术开发有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 代理机构: 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- 代理商 王婷; 姜春咸
- 国际申请: PCT/CN2022/083122 2022.03.25
- 国际公布: WO2023/178671 ZH 2023.09.28
- 进入国家日期: 2022-03-28
- 主分类号: B01D19/00
- IPC分类号: B01D19/00
摘要:
本公开提供一种芯片封装结构及芯片封装方法,该结构包括:样本基板,设置有多个沿其厚度方向贯通的通孔;第一盖板和第二盖板,分别位于样本基板的沿基板厚度方向相对的两侧,与样本基板贴合设置;至少一对进样口和出样口,每对位于第一盖板和第二盖板中的一者上或者分别位于第一盖板和第二盖板上;每对进样口和出样口之间具有流通路径;第一盖板与样本基板相对的表面上设置有第一流道结构,第二盖板与样本基板相对的表面上设置有第二流道结构,第一流道结构和第二流道结构将多个通孔连通形成与每对进样口和出样口之间的流通路径对应的连续通道。本公开提供的芯片封装结构及芯片封装方法,可以解决样本进入微孔填充不满、微孔内有气泡等的问题。