发明公开
- 专利标题: 一种自动进样溶液激光剥蚀池
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申请号: CN202311434047.4申请日: 2023-11-01
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公开(公告)号: CN117153660A公开(公告)日: 2023-12-01
- 发明人: 胡兆初 , 陈力飞 , 张文 , 罗涛 , 廖秀红 , 何焘 , 李明 , 宗克清
- 申请人: 中国地质大学(武汉)
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区鲁磨路388号
- 专利权人: 中国地质大学(武汉)
- 当前专利权人: 中国地质大学(武汉)
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区鲁磨路388号
- 代理机构: 北京东方盛凡知识产权代理有限公司
- 代理商 张凯
- 主分类号: H01J49/04
- IPC分类号: H01J49/04 ; H01J49/26 ; G01N27/626
摘要:
本发明属于激光剥蚀技术领域,提供一种自动进样溶液激光剥蚀池,包括:剥蚀池,设置于三维移动平台上,剥蚀池用于与自动进样器的给样管连通;剥蚀件,设置于剥蚀池上,剥蚀件与剥蚀池配合构成剥蚀区间,剥蚀区间用于剥蚀溶液,且剥蚀区间分别具有一进液端和出液端,进液端与给样管连通,出液端用于排出废液;补给件,设置在剥蚀池上,补给件与剥蚀区间连通,补给件用于引入基体溶液。本发明能够实现自动换样、清洗,并具有减小基体效应功能的自动进样溶液激光剥蚀池的目的。
公开/授权文献
- CN117153660B 一种自动进样溶液激光剥蚀池 公开/授权日:2024-01-12