本发明公开了一种单位增益电压跟随装置及其三级反馈放大方法，通过三级反馈放大的方式增加了单位增益电压跟随装置的输入电阻，降低了单位增益电压跟随装置输出电阻。依靠单位增益电压跟随装置输入电阻大，输出电阻小的特点可以消除前级切换装置和后级加法器之间的影响。通过第二级反馈放大器的作用显著地降低了第一级反馈放大器的相位误差，通过第三级反馈放大器的作用显著地降低了第一级反馈放大器的幅度误差，经过前馈校正补偿，保证输出到精密加减法器中高频交流电压的精度。