本发明涉及一种表面改性硅微粉的制备设备及其方法，本发明涉及表面改性硅微粉制备技术领域，该设备包括壳体，所述壳体内开始有研磨腔；所述研磨腔内下至上顺次设置有送风机构、研磨盘、研磨棒和筛选机构，所述研磨棒和研磨盘的上表面贴合，所述研磨盘的外侧设置有套环，所述套环上开设有多个风口，所述壳体的底部设置有与研磨盘连接的驱动机构，所述研磨盘的转轴通过传动机构和离合机构与送风机构连接，所述离合机构用于使研磨盘的转轴与送风机构保持连接或脱离连接。本发明能够通过离合机构能够使研磨盘的转轴与送风机构保持连接或脱离连接，能同时实现研磨以及将研磨好的表面改性硅微粉吹至出料口处。