发明授权
- 专利标题: 一种谐振式压力传感器及其制备方法
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申请号: CN202311452530.5申请日: 2023-11-03
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公开(公告)号: CN117168662B公开(公告)日: 2024-01-12
- 发明人: 缪建民 , 高云飞 , 王志宏
- 申请人: 华景传感科技(无锡)有限公司
- 申请人地址: 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园F2
- 专利权人: 华景传感科技(无锡)有限公司
- 当前专利权人: 华景传感科技(无锡)有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园F2
- 代理机构: 北京品源专利代理有限公司
- 代理商 闫彦飞
- 主分类号: G01L1/16
- IPC分类号: G01L1/16 ; G01L9/08
摘要:
本发明公开了一种谐振式压力传感器及其制备方法,谐振式压力传感器包括:器件层、第一电极层、压电层和第二电极层均包括第一区域、第二区域和第三区域,第一区域通过第三区域与第二区域连接;第一区域和第三区域的器件层、第一电极层、压电层和第二电极层在埋氧层的垂直投影位于空腔结构内;第一区域包括第一谐振器结构和第二谐振器结构,以及连接第一谐振器结构和第二谐振器结构的垂直立式膜;第一谐振器结构和第二谐振器结构均包括器件层、第一电极层、压电层和第二电极层,垂直立式膜包括器件层、第一电极层、压电层;本发明可以提高器件的使用寿命、稳定性和测量灵敏度,无需额外的校准程序,即可精确测量环境的绝对压力水平。
公开/授权文献
- CN117168662A 一种谐振式压力传感器及其制备方法 公开/授权日:2023-12-05