本发明公开了一种谐振式压力传感器及其制备方法，谐振式压力传感器包括：器件层、第一电极层、压电层和第二电极层均包括第一区域、第二区域和第三区域，第一区域通过第三区域与第二区域连接；第一区域和第三区域的器件层、第一电极层、压电层和第二电极层在埋氧层的垂直投影位于空腔结构内；第一区域包括第一谐振器结构和第二谐振器结构，以及连接第一谐振器结构和第二谐振器结构的垂直立式膜；第一谐振器结构和第二谐振器结构均包括器件层、第一电极层、压电层和第二电极层，垂直立式膜包括器件层、第一电极层、压电层；本发明可以提高器件的使用寿命、稳定性和测量灵敏度，无需额外的校准程序，即可精确测量环境的绝对压力水平。