金属电极与绝缘介质间的电荷行为特性的获取方法和设备
摘要:
本申请提供了金属电极与绝缘介质间的电荷行为特性的获取方法和设备。在根据一个实施例的方法中,针对预定载流子,测量与金属电极相邻的绝缘介质在预定电场强度和预定温度下的体积电导率。针对预定载流子,测量绝缘介质在预定电场强度和预定温度下的相对介电常数。基于用于计算载流子的漂移电流密度的第一计算表达式、以及所测量的绝缘介质的体积电导率,计算从金属电极向绝缘介质注入的预定载流子的漂移电流密度。基于用于计算金属电极的发射电流密度的第二计算表达式、所计算的预定载流子的漂移电流密度、以及所测量的绝缘介质的相对介电常数,获取金属电极与绝缘介质间的预定载流子的注入势垒。
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