激光半透半反膜及其制备方法
摘要:
本发明涉及激光减反膜领域,尤其是激光半透半反膜及其制备方法。该激光半透半反膜包括高折射率膜层一、低折射率膜层一、高折射率膜层二、低折射率膜层二、基层、低折射率膜层三、高折射率膜层三、低折射率膜层四、高折射率膜层四,所述高折射率膜层一、低折射率膜层一、高折射率膜层二、低折射率膜层二、基层、低折射率膜层三、高折射率膜层三、低折射率膜层四、高折射率膜层四依次叠合在一起。本发明通过膜系设计和工艺改进,在基层两侧表面镀制膜系,实现10600nm增透,平均透过率5%‑50%,单面反射小于0.1%,半透半反膜吸收由原来0.2%降低至0.05%,从而使激光器功率从目前的300W提升至3000‑8000KW。
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