发明公开
- 专利标题: 激光半透半反膜及其制备方法
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申请号: CN202311208077.3申请日: 2023-09-19
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公开(公告)号: CN117233880A公开(公告)日: 2023-12-15
- 发明人: 李雪
- 申请人: 苏州琳欣诺贸易有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市高新区嘉誉湾雅苑21幢601室
- 专利权人: 苏州琳欣诺贸易有限公司
- 当前专利权人: 苏州琳欣诺贸易有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市高新区嘉誉湾雅苑21幢601室
- 代理机构: 苏州拓源科佳知识产权代理事务所
- 代理商 赵艾亮
- 主分类号: G02B5/28
- IPC分类号: G02B5/28 ; G02B1/115
摘要:
本发明涉及激光减反膜领域,尤其是激光半透半反膜及其制备方法。该激光半透半反膜包括高折射率膜层一、低折射率膜层一、高折射率膜层二、低折射率膜层二、基层、低折射率膜层三、高折射率膜层三、低折射率膜层四、高折射率膜层四,所述高折射率膜层一、低折射率膜层一、高折射率膜层二、低折射率膜层二、基层、低折射率膜层三、高折射率膜层三、低折射率膜层四、高折射率膜层四依次叠合在一起。本发明通过膜系设计和工艺改进,在基层两侧表面镀制膜系,实现10600nm增透,平均透过率5%‑50%,单面反射小于0.1%,半透半反膜吸收由原来0.2%降低至0.05%,从而使激光器功率从目前的300W提升至3000‑8000KW。