本发明公开一种工业尾气的处理方法，包括以下步骤：以100～3000h‑1的空速通入包括含氟温室气体的工业尾气到装有改性吸附剂的捕获器中，所述含氟温室气体至少包括六氟乙烷气体；所述改性吸附剂对流入的工业尾气中的含氟温室气体在5～80℃吸附温度下进行吸附，当流出工业尾气中的六氟乙烷的浓度降至0.1～1000ppm时，停止吸附；所述改性吸附剂表面负载疏水材料。本发明所述处理方法工艺简单，运行能耗低，可以在常温高湿环境下实现含氟温室气体高效捕获，降低工业尾气中含氟温室气体的浓度。