本发明属于设备的在线监测技术领域，基于因子分析赋权法的振动超声局部放电信号分析方法，包括以下步骤，A001:提取气体绝缘组合电器的超声局部放电评估指标；A002:提取气体绝缘组合电器正常运行时和待测运行时在频率为0‑1000Hz的振动信号评估指标；A003:建立评估指标集U；A004:对气体绝缘组合电器的绝缘状态进行分类，并根据绝缘状态类型分别对应绝缘等级，并根据绝缘状态类型、绝缘等级构建评估模型针对的评语集X；A005:利用互信息的因子分析法赋权对评估指标集U中的评估指标权重进行分析，计算评估指标的信息相关度，通过信息相关度分析气体绝缘组合电器的设备状况。本技术方案能够通过提取特征信息来分析设备状况对定位及查找故障相当有意义。