本发明公开一种溅射残靶的处理系统，包括材料架、转运装置、酸洗单元、水洗单元、喷淋单元、以及干燥处理单元，所述材料架，用于码放溅射残靶；所述转运装置，用于移动所述材料架，以使溅射残靶和材料架一起进出所述酸洗单元、所述水洗单元、所述喷淋单元、以及所述干燥处理单元；所述酸洗单元，用于对溅射残靶进行酸洗，以溶解溅射残靶上的焊料；所述水洗单元，用于接收酸洗单元处理后的溅射残靶并对其进行超声清洗；所述喷淋单元，用于接收水洗单元处理后的溅射残靶并对其进行高压水喷淋；所述干燥处理单元，用于接收喷淋单元处理后的溅射残靶并对其进行风切烘干。本发明清除效率高，操作简单，能够实现对溅射残靶的高品质、高效率回收。