本发明的目的在于提供一种多元一组Marx发生器机芯及Marx发生器，用于解决传统的直线型Marx发生器机芯长度较长，以及Marx发生器整体结构体积较大的技术问题。其中多元一组Marx发生器机芯的机芯组件包括一个多元一组模块或多个依次串接的多元一组模块；机芯组件的两端以及相邻两个多元一组模块间均设置绝缘板；每个多元一组模块包括固定板、模块输出件和2N+1个机芯单元，以2N+1个机芯单元为一组，使其形成多元一组模块，再将各多元一组模块串接。与现有的直线型Marx发生器机芯相比，本发明Marx发生器机芯的长度大幅缩短。