本发明公开了一种碳化硅材料中不同类型氧元素的检测方法，包括：S1、以梯度升温方式分别对多种氧标准品进行加热，且记录多种氧标准品所含的不同类型氧元素释放时的温度及时间；S2、采用酸对多种氧标准品进行刻蚀，以除去多种氧标准品所含的不同类型氧元素，以所述梯度升温方式分别对经过刻蚀的多种氧标准品进行加热，且也记录经过刻蚀的多种氧标准品所含的不同类型氧元素释放时对应的温度及时间；S3、将步骤S1所获测试结果与步骤S2所获测试结果进行比对，并由此建立不同类型氧元素的特征温度曲线；S4、采用已知氧含量的标准品对标准特征温度曲线进行氧含量的标定。本发明能够快速、准确的检测出待测碳化硅材料中的氧元素类型及含量。