一种基于氮化硅脊形光波导的片上集成偏振分束器
摘要:
本发明公开了一种基于氮化硅脊形光波导的片上集成偏振分束器,包括基底(12)和设置在基底(12)上的TM偏振分束器和TE偏振分束器;TM偏振分束器进一步包括相连的第一直线光波导(1)和折弯光波导(6),通过THROUGH输出端口(10)输出TM0偏振模式;所述TE偏振分束器进一步包括相连的三条直线光波导耦合成的定向耦合光波导结构(13)、一条锥形光波导(4)和一条弯曲光波导(5),通过CROSS输出端口(11)输出TE0偏振模式。所述TM偏振分束器和TE偏振分束器中的组成光波导均采用氮化硅脊形光波导。与现有技术相比,本发明在可见光波段实现宽光谱范围的、超高消光比的偏分复用,为偏分复用在透明集成光子芯片以及量子通信等领域的应用提供了可行性。
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