发明授权
- 专利标题: 高静压纳米薄膜电阻应变式差压传感器
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申请号: CN202311383758.3申请日: 2023-10-24
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公开(公告)号: CN117330235B公开(公告)日: 2024-05-31
- 发明人: 王玉贵 , 唐运军 , 徐冬苓 , 张福海 , 雷卫武 , 昌正科 , 蒲史鸣 , 黄元媛 , 林宇 , 张明晖
- 申请人: 核电运行研究(上海)有限公司 , 松诺盟科技有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区世博馆路50号6楼;
- 专利权人: 核电运行研究(上海)有限公司,松诺盟科技有限公司
- 当前专利权人: 核电运行研究(上海)有限公司,松诺盟科技有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区世博馆路50号6楼;
- 代理机构: 核工业专利中心
- 代理商 孙成林
- 主分类号: G01L9/04
- IPC分类号: G01L9/04 ; G01L13/06
摘要:
本发明公开了一种高静压纳米薄膜电阻应变式差压传感器,连接环的一侧安装有高压腔体,连接环的另一侧安装有低压腔体,高压腔体位于连接环内侧的一端端面上设有弹性膜片,弹性膜片位于连接环内侧的一侧面上安装有桥臂,桥臂靠近低压腔体的一侧设有镀膜平面,镀膜平面上设有多层纳米薄膜,高压腔体内靠近弹性膜片的一侧设有高压侧保护块,低压腔体内靠近桥臂的一侧设有低压侧保护块,低压腔体的外周开设有传感器安装位,通过多层纳米薄膜感应桥臂的变形而产生电信号,多层纳米薄膜快速地将电信号输出,根据电信号并计算得出压差,极大地提高测量量程范围,实现从5kPa到250MPa全域覆盖。
公开/授权文献
- CN117330235A 高静压纳米薄膜电阻应变式差压传感器及变送器 公开/授权日:2024-01-02