高静压纳米薄膜电阻应变式差压传感器
摘要:
本发明公开了一种高静压纳米薄膜电阻应变式差压传感器,连接环的一侧安装有高压腔体,连接环的另一侧安装有低压腔体,高压腔体位于连接环内侧的一端端面上设有弹性膜片,弹性膜片位于连接环内侧的一侧面上安装有桥臂,桥臂靠近低压腔体的一侧设有镀膜平面,镀膜平面上设有多层纳米薄膜,高压腔体内靠近弹性膜片的一侧设有高压侧保护块,低压腔体内靠近桥臂的一侧设有低压侧保护块,低压腔体的外周开设有传感器安装位,通过多层纳米薄膜感应桥臂的变形而产生电信号,多层纳米薄膜快速地将电信号输出,根据电信号并计算得出压差,极大地提高测量量程范围,实现从5kPa到250MPa全域覆盖。
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