一种激光能量调节装置及激光微加工设备
摘要:
本发明提供一种激光能量调节装置及激光微加工设备,利用分光器将激光脉冲分成用于照射工件和进行激光能量图像识别的两个激光子脉冲,当进行激光能量图像识别的激光子脉冲在采样板上形成激光光斑后,对激光光斑进行图像拍摄和预处理,再将激光光斑图像与基准激光光斑图像进行对比,以此向激光能量调节模块发出激光能量调节控制信号,实现对激光脉冲能量的调节,其对激光光斑进行视觉识别后,以基准激光光斑图像为参考基准,确定实际识别得到的激光光斑图像与基准激光光斑图像之间的激光光斑能量差异,只需要利用图像识别与比较方式即可快速准确地对激光脉冲进行反馈调节,降低激光能量调节的成本和调节时延性,实现对激光能量的快速准确调节。
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