本发明涉及氢氟酸生产技术领域，且公开了一种电子级氢氟酸的生产方法，包括如下步骤：原料准备、原料预处理、氢氟酸制备、气体粗馏、双效冷凝、精馏处理、精制提纯和超滤处理，本发明结构科学合理，通过将萤石粉送入研磨机内进行研磨，研磨后的萤石粉送入旋风分离器和袋式除尘器进行分离除尘和提纯，保证了萤石粉后续处理的完全性，增加了萤石粉在氢氟酸生产过程中的利用率，从而保障了该电子氢氟酸在生产过程中的经济性，通过反应后气体进行粗馏，除去大部分硫酸、水分和氟化钙固废，再之后将冷凝后的液体送入精馏塔内，除去砷化物、硫酸和水分等重组分，能够使得氢氟酸中间产物的除杂更为精确，使得氢氟酸中间产物制备时更为纯净。