本发明公布了一种基于人员定位的洁净室FFU调控设计方法、系统及设备，包括人员定位标签、UWB基站及服务器、FFU控制系统、信号传输装置等；本发明给出了针对不同洁净室等级可普遍适用的洁净室空间划分方法及人员实时定位方法；建立了人员位置与发尘量、洁净室正压与出口风速之间关系；根据各区域FFU位置与人员位置及人员数量，建立了不同情况时FFU风机转速控制逻辑；通过人员位置反馈、人员与风机位置关系、FFU风速调控思路，在保证洁净室洁净度、温度、湿度的同时，极大降低洁净室整体FFU功耗，减少了风机散热导致的洁净室冷热抵消等问题。本发明方法控制逻辑清晰、可靠性强，为洁净室高效、节能减排运行提供了可靠路径。