一种测量的装置和方法
摘要:
本申请提供了一种测量的装置和方法,能够实现通信波段的LCOS相位的精确测量。该装置包括:偏振转换器件、第一透镜、分束元件、物镜、第二透镜。其中,偏振转换器件获取输入的相干光束,并将相干光束的偏振方向转换为待测LCOS的偏振方向,生成第一光束。第一透镜将第一光束透射至分束元件。分束元件将第一光束透射至物镜,并将来自物镜的干涉光束传输至第二透镜。物镜将第一光束透射至待测LCOS,并透射来自待测LCOS的干涉光束至分束元件,其中,干涉光束由待测LCOS基于物镜出射的第一光束生成。第二透镜将分束元件出射的干涉光束透射至探测器,以使探测器基于干涉光束对待测LCOS的相位进行测量。
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